埃米制程军备赛 三雄拚了

                                                                                      埃米制程军备赛 三雄拚了

                                      半导体下世代埃米制程战火延烧，台积电、英特尔、三星军备赛同步启动，三家公司今年底前都将引进最先进的高数值孔径极紫外光显影设备（High NA EUV）。由于一台高数值孔径极紫外光显影设备要价4亿欧元（约新台币143亿元），三强比技术、比军备之馀，也要比谁的口袋深。 

                                      随著制程技术推进，要价不斐的高数值孔径极紫外光显影机台成为未来晶圆厂生产不可或缺的关键机台。

                                      英特尔率先喊出取得多台高数值孔径极紫外光显影机台并陆续到货安装，同时公开表态要成为业界最快导入相关机台的厂商。

                                      台积电方面，公司规划今年拥有高数值孔径极紫外光显影设备，但尚不会导入商业化量产使用。

                                      台积电资深副总暨副共同营运长张晓强先前在台积电技术论坛中公开表示，台积电2024年会拥有高数值孔径极紫外光设备，但还不准备运用新设备来生产，主要使用目的是跟伙伴进行研究。

                                      张晓强强调，相信台积研发团队会做出最好的决定，在何时何处选择下一代EUV来应用。

                                      即便尚不准备使用最先进的机台，台积电在埃米世代制程布局仍持续进行，规划最先进的A16制程预定2026下半年量产，将先在台湾投产。

                                      台积电强调，相信N2、N2P、A16及其衍生技术将进一步扩大公司技术领先优势，并得以在未来掌握成长机会。

                                      三星先前未对导入高数值孔径极紫外光显影设备时程表态，一度传出要到明年才会取得相关机台。南韩媒体则披露，三星正加快导入高数值孔径极紫外光显影设备脚步，预计今年底就会取得第一部机台，外传将先用于华城厂区的半导体研究应用。

                                      随著三星加快脚步取得高数值孔径极紫外光显影设备，今年底将与台积电、英特尔都拥有最先进的显影机台，业界新一波军备赛正如火如荼开打。

                                      据了解，艾司摩尔（ASML）规划今年至少五至六台高数值孔径极紫外光显影设备，英特尔可能取得多数，并于今年4月喊出首台设备组装完成，预计2027年启用、将先用于其Intel 14A制程。台积电确保今年至少保有一台，SK海力士计画明年导入EXE:5200版本；三星原先计划明年取得，目前改为希望争取今年底到手，并用于在研发部门。